谢海情 刘刚 唐俊龙

摘  要 微电子工艺学对于半导体领域的发展起到至关重要的作用。通过本课程的学习，了解和掌握半导体材料制备技术、微电子器件与集成电路制造工艺原理与技术，为微电子器件和集成电路的设计和制造奠定基础。从教学手段、实践能力和考核方法三个方面对课程教学进行改革，增加学生学习兴趣，提高教学质量。

关键词 微电子工艺学;教学改革;仿真实验;多媒体

中图分类号：G642.0    文献标识码：B

文章编号：1671-489X（2021）06-0092-03

Research on Teaching Method Reform of Microelectronics Technology//XIE Haiqing， LIU Gang， TANG Junlong

Abstract Microelectronics Technology plays an important role in the development of the semiconductor field. Through the study of this course， understand and master the semiconductor material prepara-tion technology， microelectronic device and integrated circuit manufacturing process principles and technologies， and lay the foundation for the design and manufacture of microelectronic devices and inte-grated circuits. This article reforms the curriculum teaching from three aspects of teaching methods， practical ability and assessment methods， to increase students’ interest in learning and improve tea-ching effects.

Key words microelectronics technology; teaching reform; simula-tion experiment; multimedia

0 引言

縱观人类文明发展历程，不难发现人类生活水平的提高和生活方式的转变与科技发展有着密切联系。随着信息时代的到来，集成电路的迅猛发展推动了科技的进步[1]，而在微电子器件和集成电路设计制造过程中形成的微电子工艺学更是集成电路制备的关键，成为研究的热点。我国的集成电路产业发展较晚，为了扭转我国集成电路产业当前的不利地位，国家在集成电路产业投入大量的人力、物力资源，以加速我国集成电路产业的发展。而微电子工艺学也成为诸多高校微电子学科必开的课程之一，致力于培养集成电路工艺人才[2]。为了提高学生对微电子工艺知识的掌握，本文针对微电子工艺学教学中存在的问题，探索对微电子工艺学教学方法进行改革[3]。

1 教学现状和主要问题

教学手段单一  大部分有条件的高校都在教室中安装多媒体，希望利用多媒体的灵活性和多样性来丰富教学内容。……