宋淑梅 孙珲 辛艳青 王昆仑 杨田林

摘要：《薄膜物理与技术》是微电子、光学工程、应用物理学等相关专业本科生重要的专业基础课，其教学目的是使学生掌握薄膜制备技术、薄膜形成与生长、薄膜性能表征、薄膜的性质和应用等薄膜材料与薄膜技术领域的基本知识。针对《薄膜物理与技术》的内容与特点，结合自身教学体会，从完善教学内容、改进教学方法和教学手段等方面进行课程的改革与探索，切实提高教学质量。

关键词：薄膜物理与技术；教学改革；教学内容；教学方法

中图分类号：G642.0 文献标志码：A 文章编号：1674-9324（2019）35-0139-02

一、引言

《薄膜物理与技术》课程主要介绍薄膜材料的制备技术、薄膜的生长机制、薄膜性能表征、薄膜材料及其应用等有关薄膜技术的基本知识，是微电子、光学工程、应用物理、材料物理等专业的专业基础课程。学生通过该课程的学习，掌握薄膜材料与薄膜技术的基本知识和物理原理，为毕业后从事相关领域的科研和工作打下良好的基础。我校为应用物理学专业三年级本科生开设了该课程。由于该课程具有很强的实践性、专业性和前瞻性，传统的课堂教学模式已经不能满足课程的教学要求，在综合我校师资力量和实验设备的基础上，结合自身教学体会，从完善教学内容、改进教学方法和教学手段等方面进行课程的改革与探索。

二、教学内容的选择与更新

《薄膜物理与技术》的教学目标不仅仅是要学生掌握薄膜材料制备技术的原理、薄膜的性质和应用等基本知识，更重要的是希望通过该专业基础课激发学生对科学研究的兴趣，从而关注科学研究进展，培养学生提出问题和解决问题的能力，为今后的学习、工作和研究打下良好的基础。……