谢宁波　高健超

【摘 要】《微电子器件基础实验》是微电子专业重要的专业基础实践课程，在本专业的课程体系中具有重要的地位。本文从新形势下微电子专业人才培养要求和当前该课程实践教学中存在的问题出发，系统化探讨了该课程实践教学改革的改革思路，并在此基础上提出一套合理有效的改革方案。通过实验项目优化改进、自主式实验教学模式推进以及引入虚拟仿真新技术应用于实践教学三方面对传统的实验教学模式进行改革，不仅提高了学生主动学习的积极性，同时也培养和提升其工程素质。

【关键词】微电子基础实验；实验教学；教学改革；自主式实验

中图分类号： TN0-4；G712.4 文献标识码： A 文章编号： 2095-2457（2018）09-0053-002

DOI：10.19694/j.cnki.issn2095-2457.2018.09.024

0 引言

《微电子器件基础实验》是微电子专业重要的专业基础实践课程，其目的是通过实践过程，使学生掌握基本实验测试方法，加深对半导体特性原理的理解，理论联系实际掌握常用半导体器件的特性及测试方法，为后续深入的专业知识及技能学习打下良好的基础。本课程强调理论和实践的统一，通过本课程的实践教学，学生实际使用和操作常用的半导体器件测试仪器，通过实验结果分析加深对半导体特性原理的理解，从而掌握基本实验测试方法，加强基本应用知识的应用能力。

1 微电子基础实验实践教学现状

目前实验室所开设的《微电子器件基础实验》教学采用自编实验指导书，以验证性实验结合设计性实验的方式开展实践教学工作。……