陈 强

(苏州大学 电子信息学院，江苏 苏州 215021)

离子束加工是在真空条件下，将惰性气体通过离子源产生离子束，经过加速、集束、聚焦后，照射到被加工表面上实现各种加工的方法[1].因为其具有加工精度和表面质量高、加工材料广泛、控制性能好等特点，被应用于各种工业加工中.

频率微调是石英晶振加工过程中涉及频率调整的最后一道工序，其加工方法有手工打磨的方法、蒸发频率调整法和离子蚀刻法[2].手工打磨的方法因其效率、合格率、精度低，目前很少使用.蒸发频率调整法会使石英晶片的镀膜产生偏移，镀膜强度不均匀.离子蚀刻法虽然没有镀膜偏移、镀膜强度不均匀的缺点，但是因为加工后数秒内会有一定的频率偏差，导致其精度、生产效率低于蒸发频率调整法，因此不能完全取代蒸发频率调整法.本文对离子蚀刻后产生频率偏差的现象进行分析，并提出可以降低此现象的加工工艺，使得离子蚀刻法的精度可以超过蒸发频率调整法.

1 石英晶振的原理

1.1 石英晶振的形成及等效电路

石英晶体是单晶体结构（SiO2)，其形状为六角形晶柱，两端呈六棱锥形状.石英晶振是按照特定的方位角从石英晶体上切下一片薄片，然后根据特定的尺寸（由目标频率决定)研磨出的石英晶片，在晶片的两面涂覆金属层（根据需要可以是银层或金层)，每个电级层与管脚相连，最后加上封装外壳.

石英晶振的表示符号和等效电路如图1所示.其……