德州职业技术学院 施秉旭

在太阳能电池片的生产工艺流程中，镀膜（PECVD）工序硅片的自动化传输由全自动石墨舟上下料装机完成。通过对机械精度的调整和优化机器人运动轨迹，制定了针对机器人插片时掉片这一问题的解决措施。

氮化硅薄膜具备较好的阻隔钠离子、掩蔽金属以及水蒸气散发的功能，可以加强在硅片上进行光的投射，降低反射，由此加强硅片的光电转化效果。镀膜工艺是制备高效晶体硅太阳能电池的重要步骤之一，通过PECVD镀膜制作较高效率的晶体硅太阳能电池片，这对大范围运用太阳能发电具备及其关键的含义。

1 典型硅片器件结构

硅片叠层中的每一层由一种单独的成膜技术形成，这项技术的独特优势体现在以下三个方面。

首先，它是非常多功能的，同一个设备几何结构通过许多不同的路线。

第二，从另一个角度来看，这是很重要的知识产权（IPR）的观点，因为这意味着要有效保护太阳能电池片几乎是不可能的产品，除非是特定材料。因为两个可用的设备几何图形和许多材料都是现有技术。更进一步复杂之处在于，使用手边的印刷胶片，用来确定它是如何制作的。而有些印刷方法会在印刷胶片上产生考虑到他们的身份，可以预计多层膜很难。

第三，这个方面使得发明新的设备结构和电极，可以准备有竞争力的设备。

2 硅片的成膜的重要性

值得注意的是，这么多已知的成膜（PECVD工序）技术还很少他们已经进入了聚合物太阳能电池的世界。……