张震 盖昊宇 朱炼

【摘要】构建基于LoRa的大规模集成电路工业洁净室沉降菌动态监测的无线传感器组网模型，采用LoRa技术实现对工业洁净室沉降菌动态监测的节点优化部署，结合随机路由探测和最短路径寻优方法，实现对工业洁净室沉降菌动态监测的节点动态控制和路由协议设计。设计计数电路实现对动态监测数据的计数处理，通过滤波檢测器实现工业洁净室沉降菌动态监测和滤波控制，提高监测的稳定性和准确性，在嵌入式的集成DSP信息处理器中实现对系统的硬件集成开发设计。仿真测试结果表明，设计的动态监测系统稳定性较好，准确度较高，动态监测能力较强。

【关键词】LoRa技术;大规模集成电路;工业洁净室;沉降菌动态监测;滤波控制

〔中图分类号〕TP277 〔文献标识码〕A 〔文章编号〕1674-3229（2021）04-0065-05

0 引言

随着高精密度集成电路技术的发展，对集成电路制作环境提出了更高的要求。在高精密集成电路设计和制作过程中，要求环境保持较高的清洁度，需要对洁净室环境进行细菌动态监测，设计大规模集成电路工业洁净室沉降菌动态监测系统，以提高大规模集成电路工业洁净室的降菌能力。对沉降菌动态监测的传统方法主要有基于动态传感节点定位的监测方法、基于CTP协议控制的沉降菌动态监测方法、基于随机WSN节点部署的监测方法等[1-3]，传统方法主要通过构建大规模集成电路工业洁净室沉降菌动态监测的WSN或者物联网标签节点模型，设计优化的路由探测控制方法，实现大规模集成电路工业洁净室沉降菌动态监测。……