杨咸启，阚　石，宋　鹏，郭红兵

（黄山学院 机电工程学院，安徽 黄山245041）

基于DRLink运动平台系统的数控模型与实验研究

杨咸启，阚石，宋鹏，郭红兵

（黄山学院 机电工程学院，安徽 黄山245041）

控制工程综合实验系统（DRLink控制系统）具有软硬件控制系统模块化、开放式设计，具有很好的可重组性，可进行二次开发。平台集机械、电子、通讯、计算机等多种技术，其控制软件具有仿真技术、网络管理和远程控制功能。该平台适用于学生进行试验、创新与竞赛、课程设计和毕业设计，对于学生实践能力的提高有较大帮助。通过深入研究平台的运动模型，由传递函数出发，利用MATLAB进行时域分析，再通过调整运动平台的各组成部分的参数来得到相应稳定的控制系统模型。最后基于DRlink控制系统的仿真实验则通过铅笔画在纸上的图案记录下了二维平台在相应特定指令下的工作轨迹。

控制工程综合实验；运动图形；数控技术；工程应用

1　二维运动平台介绍

运动平台被广泛应用于IC制造以及MEMS制造以及生物医学等行业。随着IC制造中芯片光刻与封装、MEMS器件封装及组装、生物医学中的点样移液、精密工程中的超精加工以及精密测量等领域的发展，人们对运动平台的定位精度提出了越来越高的要求。近年来，我国大力发展信息产业，IC制造也得到了迅猛的发展，但芯片产业的装备难以达到世界先进水平。因此，应用于IC制造过程中的硅片制造、芯片制造、芯片封装等关键环节的精密运动平台就成为当前IC制造装备中的关键部件。……