顾佳超　徐恒斌　张文瀚

摘 要：随着社会经济快速发展，微小型加工装备得到了广泛关注。文章对微小型加工设备研究的国内外现状进行了综述，力求对微小型加工设备的研制提供一定的技术参考。

关键词：微小型；加工设备；现状

微小型机械加工系统是目前世界上重要的先进性技术，这种桥梁技术实现了微观加工制造领域与宏观加工制造领域的相互连接，并作为了21世纪重点技术的发展方向，国内外科研学者倾注了大量的物力，财力用于微小型加工设备的研究，并取得了一定显著的科研成果[1]。其中，日本、欧美等发达国家在微小型加工设备方面的研究起步较早，并且有许多技术已经实现了商品化，为世界微机械制造技术的发展做出了卓越贡献。相比之下，我国在微小型加工设备的研究方面起步较晚，但也取得了一定的科研成果。

1 国外微小型加工装备的研究现状

日本先进科学技术研究院（AIST）于1998年开发出了当时被认为是世界上最小的微小车床，这台微小车床的外型尺寸为长32mm，宽25mm，高30.5mm，其重量仅为100g[2]（如图1），在这台微小车床上装备有一个刀架和一个微机电驱动主轴，其定位精度达到25nm，通过对步进驱动进给方式的优化，实现了进给率为400μm/s的平滑进给，其主轴电机功率虽然仅有1.5w，但可实现最高10，000rpm的转速。

2005年位于日本的NANO株式会社成功研制出了一台小型的精密CNC加工机床[3]（如图2所示），该精密机床的加工精度能够达到微米级，并且已经实现了商品化。……