汪靖翔，高作斌，黄钊铧，马长春，田东辉

(河南科技大学 机电工程学院，河南 洛阳 471003)

以油石振荡为主要特征的超精工艺是轴承内部工作表面主要的终加工工艺[1]，超精加工质量对轴承性能和寿命可靠性有重要影响[2]。对于轴承的圆柱形和圆锥形表面，如滚子滚动面、套圈滚道和套圈外圆，其超精加工中油石的运动为直线往复运动[3-4]，这种运动具有振荡幅度小，振荡频率高的特点，故超精机中相应的运动支承部件易磨损。随磨损累积，油石振荡运动的直线性，油石对工件表面的研磨作用特性以及机床的振动和噪声等逐渐受到影响，进而影响工件的超精效果。基于磨损的渐进性，生产中对超精加工质量的影响不易控制，故优化超精机油石直线振荡装置的直线运动支承和相应传动结构，提升油石振荡机构的性能及其保持性，对于提升轴承超精加工质量及其一致性具有重要意义。

目前超精机油石直线振荡装置结构有多种方案，但都存在一定的局限性，难以满足精密轴承日益提高的超精加工需求，文献[5]发明了一种新型四偏心轮驱动的油石高频小幅直线振荡装置。现有超精研油石振荡装置有多种结构，实际使用性能各异，针对超精研振荡装置结构和性能的研究较少，文献[6]设计了三自由度超精研振荡头，振荡装置驱动力通过压缩空气实现，振荡运动有直线轴承支承。在分析现有电动机驱动油石直线振荡装置局限性的基础上，从运动学和动力学角度，分析新型油石直线振荡装置性能，为超精机的改进提供理论和技术支持。……