刘 然，李海燕

（吉林大学超硬材料国家重点实验室，长春 130012）

0 引言

压力，独立于温度、组分，是目前合成新物质的有效技术手段［1-5］。更为重要的是，在百万大气压以上超高压条件下，材料的相变将变得极为丰富，可以得到多种具有优良理化性质的新材料［6-10］，如：具有臭鸡蛋气味的硫化氢H2S气体在200 GPa高压下会形成H3S相，这种新奇的H3S 结构具有令人震惊的极高的超导转变温度——203 K，开创了高温超导新思路［7］；单质铁Fe与氮气N2在106 GPa 高压下经激光加热处理，能够形成包含聚合氮链［］n的FeN4聚合结构［8］。高压腔体作为压力承载的主体，其微加工成型技术是保证压力产生的关键。超高压实验中，为了产生100 GPa以上的超高压，采用的压砧直径通常不大于200 μm，这要求高压腔体的直径必须在70 μm 以下［10］。同时，为了避免超高压加载过程中高压腔体畸变甚至破裂，对其边缘平滑度以及曲率半径均匀度提出了更为严苛的要求。目前，现有的高压腔体加工成型技术通常采用机械式硬质合金探针钻孔技术，加工出的高压腔体直径通常大于100 μm，且边缘粗糙，同时，在手工清理高压腔边缘残留金属屑的过程中极易将其引入高压腔，导致封装样品时引入杂质，严重干扰信号检测，难以满足百万大气压以上超高压实验要求［11-12］。实验技术的创新开发能够有力地支撑科学研究的发展［13-16］。同样，在高压实验验研究中，人们也开发出了新型的显微激光样品腔成型技术，用于超高压样品腔制备［17］。但是，这种方法主要针对非金属超硬氮化硼BN复合高压腔材料的样品腔成型加工，且加工成本高昂。……