孙海钦，李金，吴振广，朱英玮，闵康磊

(上海航天电子技术研究所，上海 201109)

0 引言

微系统的概念诞生于二十世纪八十年代，由德国MBB公司首次提出，并快速成为科技发展的热点技术拥有广阔的应用前景，甚至被认为是决定未来竞争的关键技术[1-2]。微系统技术是指通过采用异构/异质三维集成的形式，将微电子、微机电和微光电技术等融合在一起，通过智能化算法和架构技术构成一体化软、硬件多功能集成的微型系统。微系统具有高度集成化、小型化和智能化的特点，解决了电子系统电路中接口部分成本与尺寸均远大于电路部分的矛盾，快速在智慧医疗、航空、消费电子、智慧物流、汽车化工、机器制造、精密机械等领域取得重大成就。但是微系统技术在航天的应用仍然面临着可靠安全的巨大挑战，同时微系统技术复杂、设计专业技术多、研发成本高，也注定了其不可能由一家单位、一个企业单独研发。同时应用于航天领域的微系统技术也需要在系统设计评价、研制过程保证、系统指标评价体系、抗辐射特性和复杂空间环境测试验证等方面进行多方面考核[2-3]。如何针对航天应用的要求，将微系统技术航天化是一个需要重点关注的问题。

1 微系统技术简介

微系统技术的诞生得益于微电子技术和为机械技术的迅速发展。上世纪六十年代以来，微电子技术的发展使集成电路芯片的尺度不断变小，同时硅加工技术的不断成熟催生了宏观机械结构的微米尺度样机，迅速在微小型机械制造领域掀起一股热潮。……