叶汉雄 邱成伟 谭才文

（惠州中京电子科技有限公司，广东 惠州 516029）

0 前言

在传统制造设备中，龙门式电镀生产线是最广泛使用的生产线。本文以龙门式图形电镀线为例，阐述通过对原有龙门式直流设备和槽体的改造转为脉冲电镀，实现高厚径比产品电镀。通过最短的时间内在设备原址利用改造升级的方式来实现设备制程能力的大幅度提升。

1 改造设计理念

由于高厚径比印制板订单越来越多，我公司原有的三条图电线全部为普通的龙门线，VCP（垂直连续电镀线）也为普通直流线,对于高厚径比如（12:1/16:1）的板深镀能力达不到客户要求。特将图电B线重新改装成龙门脉冲线，为了提高生产品质及良好的深镀能力，在B线使用专用脉冲系列脉冲药水，评估其镀铜的可靠性及深镀能力是否符合高厚径比产品的生产工艺及品质要求。

2 改造方案

因制造产品转型提升，需要在原有设备上进行改造，以进行脉冲电镀测试，因原有设备需要正常生产，尽可能减少干涉，因此测试项目控制需要独立出原有控制系统。拆除最后一个整槽原有整流机及火牛接线，拆除主槽内打气管，冰水管路,新作混流喷管管路。新做3剂自动添加系。新做副槽，配打气和冷却，冷却和打气从主线管道引入。主槽制作溢流盒，开溢流口。原主槽过滤机挪副槽使用，主槽新开吸入口，配喷流泵两台，喷流泵变频可调。配脉冲整流机两台，槽体左右两侧分置，维修侧放整流机房，走道侧放置屏风背面，同轴电缆只做一个巴位的连接。……