(中国石油大学(华东) 海洋与空间信息学院，山东 青岛 266580)

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随着半导体技术的飞速发展，全球的LED行业已经进入一个新时代，LED以其省电、寿命长、响应速度快等优点，已经广泛应用于信号灯、显示屏、舞台灯等领域。随着LED市场的迅速发展，LED检测和分选设备的需求量越来越大，对设备分选速度和精度的要求也越来越高[1]。国际方面，台湾威控自动化、荷兰ASM等公司在LED分选机技术研发上比较先进，但是公司已经将设备模块化，在软硬件方面有严格的保密制度，使得技术很难被复制[2]。国内方面，广东志成华科光电有限公司、常州谱微光电有限公司等也正在研发分选机设备[3]，但是在速度和精度方面和国外先进设备还是有一定差距。因此目前国内使用的LED分选机全部依赖进口。

LED分选设备的核心技术主要包括机器视觉技术和运动控制技术。目前国际上运动控制系统种类繁多，应用于高精度控制的主要有美国的PMAC、英国的Trio、以色列的ACS等，价格都比较昂贵[4]。国内研发的LED分选设备大多采用IPC+PMAC运动控制卡的运动控制方案，其中工控机作为上位机，PMAC运动控制卡作为下位机，二者通过PCI总线通讯，在PEWIN32软件中设置电机的相关参数[5]。近年来ACS运动控制系统发展迅速，基于ACS控制器的双驱龙门平台定位精度可达1微米，强大的ServoBoost算法极大地提高了定位精度并缩短了定位时间。此外，运动控制卡SPiiPlus SC可以嵌入在Windows操作系统的一个内核中[6]，无需复杂的硬件连线。因此ACS运动控制方案已经被广泛应用于如晶圆切割、晶片检测等半导体行业[7]。……