李展超，贺云波

(广东工业大学机电工程学院，广州 510006)

0 引言

随着后摩尔时代的来临，微电子封装装备的发展显得尤为重要，作为封装运动的关键部件，直驱XY平台的速度和精度如何进一步提高是目前亟待解决的问题[1,2]。直线电机是个多变量、时变的非线性系统，在运动过程中存在非线性扰动，这对双轴耦合而成的轨迹产生干扰，极大地影响了轮廓精度。而传统的控制方法并不能实现直驱XY平台的精确控制，为了这一目标，大量学者进行了研究。王丽梅等[3]利用鲁棒反馈控制器设计过程中保证鲁棒性性能加权函数设计了单轴ILC控制器和变增益CCC控制器，提高了系统的跟踪精度和轮廓精度;武志涛等[4]为了减少直驱XY平台在循迹跟踪过程中所产生的轮廓误差,提出一种PDFF位置控制器与实时变增益轮廓误差补偿器相结合的轨迹跟踪控制方案，使XY平台满足高精度轮廓跟踪的需求；国外的Abdullah L等[5]提出了非线性比例积分微分位置控制器，实现了增益参数自适应调整，大大提高系统跟踪性能;韩国的 Cho C N等[6]提出了一种基于神经网络的 PID 控制器参数更新算法，有效降低了轮廓误差和跟踪误差，提高了加工质量和效率。

上述学者针对XY平台的轮廓运动提出了各自的控制方案，有效地提高了跟踪精度和轮廓精度。本研究则从抗扰出发，结合迭代学习控制，提出一种更为简便的控制方法。首先，利用干扰观测器对扰动及时补偿的特点，结合双闭环前馈复合控制构成单轴控制器，保证跟踪精度；……