王晓亮，高 健，张揽宇

(广东工业大学机电工程学院精密电子制造技术与装备省部共建国家重点实验室，广州 510006)

0 引言

高速精密定位平台是微电子制造行业中晶圆制造、芯片加工、芯片封装等关键工序中均需要采用的核心部件之一[1]。因此，提高应用于微电子制造装备中的高速精密定位平台性能对于微电子制造产业具有重要意义。

针对高速运动平台的精密定位，国内外学者提出了许多不同的方法[2-4]。文献[5]针对一类直线驱动精密伺服系统的跟踪控制问题，面向实际工程应用中系统建模的不确定性、未知的外界干扰等问题，提出了一种自适应抗饱和控制方法，获得了更高的跟踪精度，但是该算法的控制律设计较复杂，且需要专用的控制器才能实现。文献[6]基于建立的直线电机伺服控制系统，采用了全闭环伺服控制方式和PID+速度-加速度前馈的复合控制方法，实现了平台X轴定位精度28.3 μm，虽然该控制方法不需要系统精确的模型，但该控制方法对扰动的抑制性能不强。文献[7]将速度观测器应用于焊线机XY工作台中，并在观测器中引入摩擦模型来代替传统的摩擦补偿器，实现了较高的运动速度及工作效率，但该控制方法未能较好的改善非线性因素对平台定位性能的影响。文献[8]使用鲁棒内模控制实现了在加速度8.15g，最大速度0.1 m/s及期望位置8 mm的运动参数下定位误差小于2 μm，但该控制方法需需要建立系统的的精确模型才能获得较好的控制性能。……