陈华丽 谢丹伟 林 辉

（汕头超声印制板公司，广东 汕头 515065）

0 前言

LDI（Laser Director Imaging）是利用激光直接将印制电路板（PCB）的图像扫描到感光干膜上。由于不需要照相底片，避免了使用底片涨缩引起的尺寸偏差，曝光时光线不平行带来的偏差，同时还能提供高度灵活性和高精确性，包括可满足用于批量生产任何成像、复杂图像、高产出、自动控制和可溯性，现在已逐步成为主流技术，大量应用于HDI板、IC载板等。

面对来自HDI的挑战，如要求线路越来越细，孔环越来越小，LDI有着独到的优势，可以高精度、高产出、在大块拼板上实现精细成像和孔环对位。但面对细线路制作，我们需要哪些等级的LDI曝光机？在此，通过试验对曝光机对细线路制作的影响做深入探讨。

1 LDI成像原理

CAM设计的资料是矢量格式的，即图形文件描述了每一个图形位置、宽度等属性的文件，这样的格式不能用到LDI或是光绘机，而LDI作为数字扫描成像设备，必须使用标量格式的图形文件，就是将图形分成以pixel为单位的图形（就是曝光机的最小解析度），每一个pixel只有0或1属性的文件。不同的线宽和线距在转换过程中，就有可能在两种格式存在不完全相等的可能性。

例如，一台曝光机的解析度为3.175 μm，即最小pixel，如果设计的线宽线距是30 μm/30 μm，9个pixel即3.175×9=28.575 μm，10个pixel即3.175×10=31.75 μm，如此是不能整除解析度单位，但曝光机的原理是要首先保证设计的线宽属性，即最终出来的是线宽是31.75 μm，线距是28.575 μm，但31.75+28.575=60.325 μm＞60 μm，则造成尺寸变大。所以唯一的办法就是每隔一段距离（误差积累到1个pixel），减少1个pixel的间距（线宽属性是必须保证的是首要原则，所以只能减少间距）；……