王保柱 武瑞红 张明

摘 要：仿真实验教学是信息时代教育改革发展的必然要求，也是教育技术现代化和实践实验信息化的重要特征。本论文设计开发了一套集成电路工艺实验流程仿真实验软件，可以在计算机上进行完成一些需要昂贵仪器、有一定危险的实验项目。虚拟仿真技术在实验教学的综合应用，是增强学生实践能力和提高学生就业竞争力的重要手段和方法。

关键词：集成电路;工艺;仿真

仿真实验教学是信息时代教育改革发展的必然要求，也是教育技术现代化和实践实验信息化的重要特征。仿真实验教学可以使广大学生在开放、自主和交互的计算机环境中开展高效、安全且经济的实验，尤其是对于一些涉及危险或极端环境，不可及或不可逆的操作，以及需要高成本、高消耗的大型或综合性实验项目。特别是针对理工类高校的大量工科专业，虚拟仿真实验教学的综合应用，可以增强学生实践能力，是提高学生就业竞争力的重要手段和方法。

一、仿真实验整体设计

对于电子科学与技术等专业的半导体器件，集成电路制造工艺和光电子技术等实验内容，实验仪器价格昂贵，一整套的半导体工艺设备至少在几百万元人民币以上;有些工艺步骤中还存在一定的实验危险因素，涉及一些可燃性气体，以及高电压设备;实验用品和耗材价格也比较昂贵。这样以来，虚拟仿真实验教学将是学生学习重要内容，增强学生的综合能力的有益手段，虚拟仿真实验教学可以很好地体现出信息技术发展和与学科专业深度融合带来的实验教学改革与创新。……