丁朝俊 胡和平

摘  要：所谓飞秒激光微纳加工，即运用超短脉冲激光的紧聚焦获得的焦点具有超高能量密度，同材料在微尺度的状态下产生非线性反应，对材料产生诱导作用，出现“改性”及“成型”等状况。飞秒激光加工技术优势明显，在材料加工领域内得到了广泛的应用，受到格外的关注与重视。该文在这一基础上，就飞秒激光微纳加工技术在多种材料加工领域的应用作简要论述。

关键词：飞秒激光微纳加工技术  材料  加工领域

中图分类号：TG665    文献标识码：A 文章编号：1672-3791（2020）03（c）-0046-02

当前信息时代下，科学技术实现了快速发展，应用需求持续提高，在微纳加工上技术要求更高，要求加工的材料必须具备较高的分辨率，加工技术能够在多种材料上应用，能够实现真正的三维加工。这些要求都对传统微纳加工技术提出了挑战。在这些新要求下，不断推动着微纳加工技术的进步与提升。最近几年的时间里，飞秒激光加工受到了广泛的关注与重视，其能够在多种材料加工领域中应用，具备较高的加工精度，是学术界重点研究的课题。

1  金属及半导体材料的表面微加工

表面微加工就是在材料的表面进行微纳米级线、孔和凹槽的制备，对加工具有较高的技术要求[1]。而飞秒激光加工技术则是开展表面微加工的最有效工具。在最理想的表面微加工状态下，应该保持材料外部的最小损伤。但是采用传统的激光技术进行加工，会产生热扩散，对加工尺寸产生较大影响。……