闫帅鹏

【摘 要】真空溅射台是薄膜工序的关键设备，价格昂贵，工艺要求极高。做好设备的维护工作则是对生产的一项重要保障。真空溅射台涉及机械、高真空、电气控制等学科，对维修工作也要求较高。尤其在高真空领域，更是有两个人做不出同样的真空效果的说法。

【关键词】真空；溅射；维修

一：前言

让设备处于最佳的工作状态，进行更好的工作，是设备维修人员的职责。一方面要求维护人员对设备的特性更了解，另一方面要求维修者在维修操作过程中，准确的找到设备故障原因及时修复设备，发挥好设备的特性。而不正确的维修手段，往往会导致设备出现联动故障，影响设备的正常使用。设备维修的正确方法的采用，更是建立在对设备原理和特性的了解之上。

二：真空溅射台的工作原理

真空溅射台在镀膜之前主要是靠前级泵与分子泵对腔体进行抽真空，同时对腔体进行加热以便更好的将腔体内的残余气体排放的更充分。

等待抽到高真空的状态下，程控或者手动开始溅射功能。在高真空下利用辉光放电将氩气离子撞击Target（靶材）表面，电浆中的阳离子会加速向作为被溅射镀材的负电极表面，堆积在基片表面形成薄膜，该过程进行加热可提高基片表面镀层的沉积率。

三：常见故障原因及解决方法

常见故障1： 靶材基座发热或者靶材发热

在溅射时离子轰击靶材时会有巨大的热量散发出来并且腔体在不停的加热过程中，就需要冷却水进行冷却。……