杨　晋,　尹　禄,　姚雪峰

(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所， 吉林 长春　130033；

2.中国科学院大学， 北京　100049)



功率谱密度指导超光滑镜面加工

杨晋1,2,尹禄1,2,姚雪峰1

(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所， 吉林 长春130033；

2.中国科学院大学， 北京100049)

摘要：根据双向反射分布函数反演功率谱密度，利用得到的功率谱密度函数指导镜面加工，理论推导结果合理,已经用于实际镜面加工。

关键词：功率谱密度； 双向反射分布函数； 镜面加工

0引言

光学反射镜在很多领域都起着至关重要的作用，其表面的光滑程度则决定了反射光的质量[1-2]。在很多光学精密仪器中，光学反射镜的光滑度决定着整个仪器杂散光的水平[3]。在设计对杂散光水平要求较高的仪器设备时往往需要对每一个反射镜的杂光水平提出指标要求。目前，一般使用双向反射分布函数(BRDF)来描述一个镜面的杂散光水平，但是国内反射镜研磨机构并没有直接针对BRDF参数进行反射镜加工的情况，这给反射镜设计者与加工者的参数对接提出了难题。鉴于此，文中对双向反射分布函数与反射镜面形评价作了研究，提出了根据BRDF指标反演功率谱密度(PSD)再利用功率谱密度函数指导镜面加工的方法。参考国外先进水平的BRDF指标进行实验仿真建模,计算其功率谱密度函数，计算结果可指导超光滑镜面加工。

1基本理论

1.1　光学元件的面形误差与功率谱密度[4]

反射镜等光学元件的面形误差可以根据其对入射光线不同的作用效果分为3个频段。……