闫启亮，田知玲，郎小虎，张 伟，常 亮

(北京中电科电子装备有限公司，北京101601)

金刚石砂轮刀划片机是利用薄片砂轮在高速旋转时的切削能力，对硅片、玻璃、陶瓷、PCB、LED、NTC进行切割的机器，在半导体等行业应用十分广泛。基于该类设备研发中，对设备进行调试过程出现晶圆正崩、掉角、划切槽较宽等现象，作者针对此现象提出影响该问题的主要因素即主轴系统在装配过程中，刀盘在笛卡尔坐标系的位置，刀盘面与工作台x、y、z三方向的平行度与正交性，并对此展开分析并通过实验验证其正确性，为提高划切槽的质量提供可靠的依据。

1 刀盘端面结构

划片机工作机理是强力磨削，刀片是环行结构，使用时通过螺帽和螺母安装并固定于主轴电机刀盘座上，其结构如图1所示。工作时，刀片在主轴高速旋转带动下进行划切。

2 主轴系统对划切槽质量影响

基于主轴冷却水温度及水压正常，划切过程中，预划切的工艺流程、主轴转速和进给速度合理的情况下，主轴系统对划切槽质量的影响因素主要有以下几方面。

图1 刀盘端面结构示意图

(1)工作台x轴与刀盘面的平行度。工作台x向与刀盘面的平行度；其主要影响了划切槽的宽度，如图2所示：图中黑色区域是砂轮刀片在正常安装状态时晶圆上的投影，填充斜线区域是砂轮刀片与工作台x向完全平行状态时在晶圆上的投影，理论上砂轮刀片与工作台x轴向完全平行状态时在晶圆上划切槽宽度为砂轮刀片的宽度，即为填充斜线区域，实际装配中，砂轮刀片位置为黑色区域，划切槽的宽度为两粗实线之间的距离，很显然，划切槽的宽度大于砂轮刀片的厚度。……