海燕，吕荣华，王春婷

(1.北京中电科电子装备有限公司，北京100176 2.中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京东燕郊101601)

切割机是一种封装成品划切分割的关键工艺设备，其工作机理是采用超薄金刚石刀片作为切割加工刃具，主轴带动刀片高速旋转通过强力磨削对集成电路基片及各种硬脆材料进行高精度切槽和分割[1]。切割机是集机械、电子、视觉、控制等各方面先进技术于一体的设备，这种设备用于电子元器件的精密划切分割，要求设备精度高、性能稳定，其中直线导轨安装座就是与其性能相关的重要零件之一。因此，本文将对这类典型零件的加工工艺进行研究。

2 直线导轨安装座的性能分析和材料选择

2.1 性能分析

精密工作台的直线导轨安装座用于安装超精密级直线导轨，其导轨安装面和定位面的形位公差精度要求高，在使用中平面度及平行度应该保证在微米数量级上，才能充分发挥超精密级直线导轨的精密导向作用，实现精密工作台的运动平稳性。

切割机直线导轨安装座如图1、图2和图3所示，这类零件造型较复杂，要求加工后精度稳定，并且能够吸收振动，长期使用后设备性能稳定。

图1 直线导轨安装座一

图2 直线导轨安装座二

图3 直线导轨安装座三

对于形状较复杂的零件，在小批量生产中铸造的加工方法是一种合理的选择，不但可以减少加工量节约加工费用，而且可以缩短加工周期，更为重要的是可以实现复杂的造型。……