陈特超，马度·巴布，李健志，毛朝斌

(1.中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙410111 2.UAE Fujairah Ishan能源公司，印度)

当石油、煤炭、天燃气等不可再生能源频频告急，能源问题日益成为制约社会经济发展的瓶颈时，越来越多的国家开始实行“阳光计划”，开发太阳能资源，寻求经济发展的新动力。各国对环境的保护和对再生清洁能源的巨大需求，促使太阳能电池制造技术不断改进以及新的光-电转换装置的发明。可以预见，太阳能电池将是太阳辐射能利用的一种比较切实可行的方法，可为人类未来大规模地利用太阳能开辟广阔的前景[1]。晶体硅太阳能电池工艺中的等离子体刻蚀是将硅片周边的扩散层去除，使硅片两面形成PN结。硅片周边的扩散层去除干净与否，可由太阳能电池的漏电流和并联电阻来表征。等离子体刻蚀技术已成为实现此工艺的首选。在现有设备的基础上优化工艺，提升光伏电池性能已成为一种新的精细技术。

1 设备及条件

本工艺研究是在阿联酋Fujairah酋长国M icrosol公司进行，设备为中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的新一代等离子体刻蚀机，该设备采用ICP技术，配备国际领先水平的RF电源及干式真空泵，大大提高了设备的可靠性。与国内现在普遍使用的第一代刻蚀机相比，它的产能大，故障率低，使用、维护费用低，更适合于大规模工艺生产使用。设备原理图如图1[2]。

图1 设备原理图

2 工艺及实验

M icrosol公司是UAE首家太阳能电池片生产企业，目前主要生产150mm×150mm方片单晶硅太阳能电池片。……