吴 旭，张志军

(中国电子科技集图公司第四十五研究所，北京101601)

多线切割机是一种用于硅材料或其它脆硬材料加工的高效加工设备，具有加工效率高，加工材料的表面质量好，并且能够加工大直径的工件等优点，在半导体材料加工、太阳能电池材料加工及其它特殊材料的加工中得到了日益广泛的应用。然而，在具备上述优点的同时，多线切割机作为一种复杂的大型材料加工设备，其控制系统的实时性和可靠性要求很高，一旦在材料切割过程中出现钢丝断线的情况，被加工工件很难再继续进行加工，更为严重的是，如果在材料切割区出现断线的情况，如果不能立即发现钢丝断线并且及时停机，将有可能造成钢丝缠绕轴辊，并且损坏轴辊上的聚氨酯涂敷层，使得设备不得不停机更换轴辊，给用户造成更大的损失。因此，为提高设备的可靠性及工作效率，针对多线切割机钢丝断线的意外情况，我们研制了专用的钢丝断线检测装置，并且通过独立的检测电路和单片机进行监控，在出现钢丝断线时立即发出停机信号，既保证了检测装置的实时性能，又使得运动控制系统能够专注于正常的设备控制功能，不会对控制系统造成额外的工作负担。

1 检测装置的工作原理

钢丝断线检测装置的工作原理如图1所示。

图1 钢丝断线检测装置的工作原理

在图1所示的检测装置中，收放线轮和探测器杆都是通过绝缘套垫安装在机器上，从而使其与机壳绝缘。……