邱 福，张永刚，闫 昕，姚海云，梁兰菊

(1.安徽理工大学 电气与信息工程学院，安徽 淮南 232001；2.枣庄学院 信息科学与工程学院，山东 枣庄 277160；3.枣庄学院 光电工程学院，山东 枣庄 277160)

0 引言

太赫兹是频率在0.1～10 THz波段波束，具有能量低、穿透性强、波长短等优点，在太赫兹波通信、调制等方面具有广泛的应用前景[1]。超表面为人工合成的电磁材料，可以更灵活地调控太赫兹波束[2]。电磁诱导透明(electromagnetically induced transparency，EIT)是一种在三能级原子中的量子干涉效应[3]。太赫兹超表面器件也有类似效应，简称“超表面EIT-Like”。目前超表面有两种耦合方式：第一种是明暗耦合[4]，其原理是太赫兹波直接激发明模，然后明模与暗模耦合并激发暗模；第二种是明明杂化[5]，主要是两种模式在不同频段被激发。近年来超表面EIT-Like一直受人们关注，尤其是在非线性器件、传感器等领域。

石墨烯是一种新型的二维材料，对外部激励较为敏感，不需要太强烈的激励源就能起到相应调制作用，大大降低了经济成本[6]。通过光泵或者外加电压改变石墨烯费米能级，电导率就会随之发生变化，从而实现对石墨烯的主动调控[7]。

结合超材料和石墨烯各自优势，采用“T”型结构和四组开口方环，设计了一种石墨烯与超表面相结合的类电磁诱导透明(EIT-Like)调制器。通过对电场和磁场分析可知，该结构EIT效应物理机制是双明模结构耦合。在其结构背面覆盖一层石墨烯层，通过改变石墨烯费米能级改变石墨烯电导率，结合电磁诱导透明的透射峰高灵敏性，实现较高调制深度和频率的偏移。……