杨英，王芳，巫业栋，张宝荣，赵志勇，郑军,1c

（1.安徽工业大学 a.先进金属材料绿色制备与表面技术教育部重点实验室b.现代表界面工程研究中心 c.材料科学与工程学院，安徽 马鞍山 243002；2.山西柴油机工业有限责任公司，山西 大同 037027）

材料在腐蚀磨损过程中，不仅与对磨副发生摩擦作用，致使其受到磨损，还与环境介质发生化学或电化学交互作用，造成材料腐蚀[1]。这种腐蚀和磨损的耦合作用广泛存在于农机、石化、水利、电力、矿冶等行业的机械设备中[2]，对工业生产造成极大破坏[3]。例如在农业机械方面，化肥造粒机压辊部件由于长期接触和挤压化肥物料，压辊表面会遭到硫酸盐、硅酸盐、磷酸盐等物质的腐蚀和磨损作用，表面出现局部塑性变形和应力腐蚀裂纹等，严重缩短了工件的使用寿命[4]。由此可见，材料腐蚀磨损过程涉及到力学、化学或电化学的交互作用，影响机制极其复杂，对材料的表面综合性能要求极高。

作为硬质涂层的主流制备技术之一，物理气相沉积方法（Physical Vapor Deposition，PVD）由于沉积温度低、涂层质量佳、工艺成熟等特性，在诸多领域应用广泛[5-6]。在众多硬质涂层体系中，CrN 涂层因具有较好的耐腐蚀性、抗氧化性以及耐磨性，而成为应用广泛的涂层体系之一[7]。由于Ni 腐蚀电位较正，且韧性较好，在CrN 中加入金属Ni 形成Ni-Cr-N 三元涂层可显著改善涂层耐蚀性和韧性、耐磨性。Jin等人[8]采用非平衡磁控溅射技术，通过调节NiCr 合金靶材电流，在304 不锈钢上沉积不同Ni 含量的NiCrN 涂层，结果显示，所有NiCrN 涂层均显示出比304 不锈钢更佳的耐蚀性和疏水性，在燃料电池质子交换膜方面具有良好的应用前景。……