严 惠，邓小龙，李志远

（江苏信息职业技术学院 集成电路制造装备工程技术研究开发中心，无锡 214153）

0 引言

数字孪生(Digital Twin)的理念最早是由Mcihael Grieves博士在密歇根大学和NASA研讨会上提出的[1]。Schleich B构建了数字孪生的参考模型，研究了数字孪生模型的全生产周期的应用问题并妥善的解决了该问题[2]。Lehmann C介绍了多模态数据传递解决方案，基于数字孪生建立产品生产工艺全周期流程的系统，进一步缩短数据交互和数字孪生系统之间的同步时延，实现现实物理世界与数字孪生模型之间拥有最大协同性[3]。Schluse M通过数字孪生模型与现实物理设备的数据传输实验，研究了更为多维化的数字孪生控制算法[6]。数字孪生技术在国内的研究和受关注相对较晚，陶飞对物理车间与虚拟车间的融合进行深入研究，提出了基于数字孪生的车间定义[4,5]。郑宇等人研究了OPC UA数据交互技术，构建了基于数字孪生的焊接设备模型，实现了设备对象的实时监控[6]。何柳江对数控机床虚拟交互系统展开了深入调查并研究了基于孪生模型的远程控制技术，实现了数控机床与数字孪生模型之间的映射[7]。

目前传统制造业已实现向智能制造业转变，智能设备的数字化是实现智能制造业转型的基础，而设备数字孪生是实现物理设备与数字化设备互联互通的最佳途径[8,9]。数字孪生监控系统与传统的监控系统相较，其拥有更好的视觉效果,并且可以达到智能设备与数字孪生之间协同性与实时性的要求。……