王 婷，张 浩，杨佳成，陆晨飞

(南京工业大学机械与动力工程学院，南京 211800)

0 引言

随着超精密加工技术的不断发展，人们对零件的精度要求越来越高，以传统的滚动轴承和液体润滑轴承作为支撑的加工和测量仪器已经难以满足需求[1]。气体静压轴承虽然具有运动精度高、摩擦小、低速进给无爬行、无污染、发热低等优点，但由于气体的可压缩性，导致提高轴承的承载力和刚度比较困难[2]。由于气体静压轴承的承载力小、刚度低、稳定性差、制造精度要求高，导致气体静压轴承的应用范围受到很大限制。因此，很多学者在计算方法、轴承结构、节流器结构等方面对气体静压轴承进行了广泛地研究，以提高轴承的承载力、刚度和稳定性[3-5]。

Lai T等[1]分析了节流孔孔径、个数、排布方式以及供气压力等因素对气体静压导轨承载力和刚度的影响，并进行了实验验证。Aoyama T等[6]设计了一种出口形状为圆角的节流孔，通过仿真计算与实验验证，证明与出口为直角的节流孔相比，圆角的节流孔可以有效抑制轴承的振动。Xiao H等[7]详尽地分析了轴承的直径、转速、偏心率以及节流孔直径和供气压力等参数对气体静压径向微轴承的承载力和刚度的影响，并通过实验进行验证。Zhang J B等[8]采用求解层流边界层方程的分离变量法详细地分析了气膜厚度、节流孔孔径、供气压力对轴承的径向压力分布以及承载力和刚度的影响。Du J等[9]系统地研究了均压槽的个数、开设形式、尺寸参数等因素对气体轴颈轴承承载力和刚度的影响，并进行了实验验证。……