刘强 路文明

摘要：半导体专用设备是为了满足半导体制造工艺而开发的专用设备，近些年在多个行业得到了快速发展。而其电气控制柜作为设备的关键组成部分，其设计越来越重要，越来越需要向标准化、模块化、系列化发展。

关键词：专用设备;控制柜;原理与接线图;人机工程;

一、基本设计内容

控制柜设计的基本途径和方法分为三步：首先根据半导体专用设备的功能、结构组成以及控制方案，确定电气控制柜的布局、结构尺寸等;其次，进行内部电气原理图和接线图的详细设计;最后，根据实际的装配调试效果，经过优化、验证，从而满足设备的控制与维护要求。设计内容包括电气控制柜的结构设计、电气控制柜总体配置图、总接线图设计及各部分的装配图与接线图设计，同时还要有部分的元件目录、进出线号及主要材料清单等技术资料。

二、电路主路（电源部分）原理与布线设计

1.主要进行电源部分电路设计，电气柜是元件的载体，也是这些电器元件最直接的保护层，好的电气柜设计是保证电气系统以致整个半导体专用设备正常运行的必要条件。国标体系文件中对电气柜，尤其是配电柜的设计有较明确的要求。另外，在设计电柜前，根据客户供电形式选用合适的电源配置。控制电源应采用隔离变压器，尤其是对于像激光光源等对电压敏感型的专用装置。开关电源作为由电子电路器件组成的电源，体积小、对输入电压要求不是很高，通常应用在半导体专用设备的直流控制电压领域。……