梁庭壮

（广东和宇传感器有限公司,广东 江门 529100）

现阶段，有关石英压力传感器的结构设计和制造工艺的研究相对较少，基于此，采取行之有效的方法对其进行分析研究，如针对选料过程、切片过程、超声料落、摆片精磨及抛光作业、膜片金属化工艺、提升测量精度与工作效率、控制成本投入及消耗、加强技术人才队伍建设、优化传感器制造工艺等，对当下我国石英压力传感器优化设计、制造工艺等进行阐述，有十分重要的理论意义。

1 研究方向及意义

随着我国综合国力的不断提升，石英压力传感器在军工产业及重点工业领域的应用比例逐渐提升[1]。石英压力传感器是基于压电效应，将压力信号变化转换为石英晶体的固有振动频率变化，电路再将石英晶体频率转换为相关电参数输出。石英压力传感器是相对于诸多不同类别压力传感器，精度和稳定性较高的一种测量型传感器。通过市场调研发现，石英压力传感器应用领域十分广泛，主要涉及航天、军工、石油、船舶、医药等产业[2]。随着石英压力传感的广泛应用，相关研究也越发向着时效性、功能性等层面转变。石英压力传感器优点较多，主要包括耐冲击、抗震动、无弹性滞后、耐腐性较强，且线胀系数相对较小。同时，该类传感器的精度和稳定性也相对较高，如在测量精度层面，石英压力传感器比一般的压阻式传感器要高。该优点将石英压力传感器应用范围逐渐扩大。此外，相对于传统金属压力传感装置，石英压力传感器灵敏度更高，并能根据不同环境进行自动适应调节，且稳定性、分辨率颇高，使石英压力传感器在气象领域应用空间扩大。……