张 超， 封先锋， 李世光， 臧 源， 马 丽

(1. 西安理工大学 自动化与信息工程学院，陕西 西安 710048 2. 西安理工大学 理学院，陕西 西安 710054)

0 引言

集成电路产业是信息技术产业的核心，是支撑社会经济发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业。集成电路的基石即半导体相关技术已经成为制约我国进一步发展的“卡脖子问题”。对集成电路相关半导体技术人才的教育和培养，是保证集成电路产业可持续发展的关键。

“半导体物理”是电子科学与技术、微电子科学与工程、集成电路设计与集成系统等电子信息类专业的核心课程，内容涵盖半导体物质结构和能带结构、半导体载流子及其输运性质、非热平衡状态下的半导体，pn结，金属和半导体接触，半导体表面与MIS结构,异质结与纳米结构。该课程涉及理论知识面广，基本概念繁多，公式推导复杂，学生在学习过程中往往只能机械记忆而难以理解各项参数的物理含义，难以将理论知识应用到具体的半导体专业实践中去。因此，各高校都开设了不同层次不同形式的半导体物理实验，通过实验使学生深入理解理论知识，培养学生解决本领域复杂工程问题的能力。目前，各高校开设半导体物理实验的形式内容都有所差异，特别是地方院校，限于教学经费与师资，存在一些不同程度的问题。因此，为了提高实验教学效果，加强人才培养质量，本文针对目前半导体物理实验的现状进行了总结，从实验教师队伍、实验设备、实验教学内容、实验教学方法、实验考核方式、实验安全等多个方面进行了改革实践。……