杜 雄 何雨倩 忻晓蔚

(上海机床厂有限公司 上海200093)

所谓超精密加工技术，它涵盖了超精密车削技术、超精密铣削技术、超精密磨削技术、表面镜面抛光技术和超精密特种加工技术等，这几种超精密加工技术的共性技术基础是超精密机床技术。为了实现高精度的要求，国内外机床的进给运动一般采用高运动精度的气体或液体静压导轨结构。

光学玻璃是应用于激光技术、光电通讯、航空航天以及国防工业等领域的光学元件。某公司在“高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项课题资助下，研制了适应大尺寸光学玻璃磨削加工用的H402-AZ数控专用平面磨床。机床结构采用了液体静压导轨和静压电主轴技术。

对于机床所采用的静压导轨来说，其关键技术体现在如下几个方面：（1）静压导轨参数计算技术；（2）静压导轨有限元仿真与性能优化技术；（3）静压导轨加工与装配技术；（4）静压导轨精度保持性技术。本文在文献[1]介绍工作台采用双层静压导轨结构的基础上，对机床的Y轴和Z轴所采用的闭式静压导轨结构设计进行描述，并对机床静压所在的三个直线轴的装配进行了说明。

1 机床闭式静压导轨总体设计

根据液体静压导轨的工作环境和所承受的载荷的情况不同，其结构形式上有开式和闭式之分。开式导轨依靠运动件自重和外载荷来保持运动件不从基础静导轨件上分离，显而易见，开式导轨只能承受单向载荷，承受偏载和倾覆力矩的能力差。……