蔡 磊， 马泽贤， 刘新宽， 朱建国， 雷雪松

( 1.盛利维尔(中国)新材料技术有限公司， 江苏 常州 213200; 2.上海理工大学材料科学与工程学院， 上海 200093)

1 概 述

镀镍工艺在电镀生产中占据着重要地位，一般应用于材料防护以及装饰涂层[1]。金属镍本身塑性好同时抗腐蚀能力比较强，所以电镀镍工艺自诞生之日起备受青睐。但是在电镀过程中，由于杂质掺杂以及添加剂的引入，镀层内应力的问题一直是生产实践关注的重要问题。高应力导致镀层起皮、开裂、与基体的结合能力下降[2]，严重影响镀层的质量，所以建立起一种完备的镀层应力测试方法对研究镀层内应力问题具有重要意义。

本文改良原来的单阴极片弯曲的方法，采用双阳极-阴极弯曲法测量。传统的单阴极片弯曲法在测量应力时，由于电镀内应力在一定厚度内并不会产生特别明显的弯曲，这就使得测量时由于弯曲距离太短造成测量不精确[3]。新方法与单阴极片弯曲测应力的办法相比，新方法放大了试验片弯曲的距离，如图1所示，使得微小的弯曲也可以被测量。

图1 渡槽结构示意图

通过对生产线上不同周期的镀液进行采样，用新方法进行内应力检测，同时与薄膜内应力测试仪测试数据作比较；再采用电感耦合等离子体发射光谱仪对镀液中元素进行检测，探究不同元素对镀层内应力的影响。

2 实验过程

2.1 实验材料与预处理

基材用黄铜片，试样规格为100 mm×20 mm×0.2 mm，用线切割加工成如图2样式。加工好的黄铜片分开两脚处分别单面绝缘作为阴极弯曲试片。……