连亚宣，王海龙2

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1 引言

一般晶体生长炉是用石墨发热体、感应线圈等作为发热元件的真空电炉，可供金属单质、金属化合物、无机非金属材料、陶瓷材料、纳米材料、发光材料等在真空条件或氮气、氩气等保护气氛中进行烧结。所烧结的材料，其挥发物、杂质等会存留在真空炉内，不仅影响烧结材料的纯度、增加使用能耗、还会影响并降低设备的使用寿命、污染环境等，增加该排气系统，上述问题均有所改善。

2 晶体生长炉的构造

晶体生长炉主要由炉体（包括炉盖、炉腔、炉底等）、保温系统、真空系统、水冷系统、电气系统、加热系统等组成。

一般炉体是内壁精密抛光，外壳为碳钢、不锈钢等经防锈处理，两层之间形成夹套可以通水冷却，将传到炉壳内壁上的热量带走。

高温保温材料一般为石墨毡、石墨桶，石墨毡包括石墨软毡和石墨硬毡。

真空系统包括抽气设备、加压设备，抽气设备一般有机械泵、扩散泵、罗茨泵等，机械泵作为前级泵，后者一般作为辅助泵，加大抽气量，提高抽气系统的真空度。加压设备，包括加压气瓶（相应的惰性气体，如氮气、氩气）、减压阀、压力探测器（电阻规、电离规、高压探测器等）。

冷却水由总管进入，经过各支管送到需要冷却的地方，后汇总排出。每路冷却水都有手动进水阀门、手动出水阀门，可根据需求调节流量大小。水冷系统主要用于加热炉外部散热，避免因高温造成相关设备、零件等高温损伤，以及保证炉腔的恒温性。……