宿泽达, 安跃军, 安 辉, 唐志英, 孔祥玲, 毕德龙

1.沈阳工业大学 电气工程学院,辽宁 沈阳 110870；2.中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 真空干泵事业部,辽宁 沈阳 110168)

0 引 言

真空技术与人们的生活息息相关，从食品包装到航空航天均离不开真空技术[1]。随着中美贸易战的持续发酵，芯片产业的重要程度愈发凸显。对于生产芯片所需的真空泵、真空泵驱动电机等真空获得设备的性能要求也越来越高。

在工业生产中，为了保证真空泵的真空度，常将驱动电机机壳与真空泵腔体直接相连，当真空泵工作到稳定状态时，腔体内部为真空状态，电机机壳内部也为极限真空状态。在此状态下，电机转子的热量无法通过热对流进行散热，只能通过热辐射和热传导来传递热量，散热效率较低，导致转子难以散热。大部分热量传递至转轴上的轴承内套，使内套温度高，但外套温度低，导致轴承塑性形变。不但产生振动和噪声，而且发生热膨胀导致轴承内部游隙过小，内部负荷过大，严重时会导致轴承磨损或抱死，威胁真空泵的稳定运行，因此真空泵用驱动电机需要尽可能减少转子上的损耗，降低转子温度。

目前，真空泵使用的驱动电机主要为感应电机[2]和永磁同步电机(PMSM)[3]。而针对这一工程问题，已经有学者开始寻找新的电机拓扑结构并已进行了一系列相关的研究工作。文献[4-6]分别以永磁辅助式同步磁阻电机、同步磁阻电机、开关磁阻电机作为真空泵驱动电机展开研究，研究分析了各电机各部分的损耗及其稳态运行时的温度分布；……