张信华， 贺 华， 蔡小红， 常志东， 吴 桐

(1.常州工学院 光电工程学院， 江苏 常州 213032; 2.苏州恩奇医疗器械有限公司， 江苏 苏州 215011;3.西安电子科技大学 机电工程学院， 西安 710071; 4.嘉兴恩奇医疗器械有限公司， 浙江 嘉兴 314022)

等离子射流作为一种新兴的等离子体放电技术，近年来受到广大科研学者热切关注并进行了深入研究，其发展速度之快，技术类型之多，在凝聚态物理学领域尤为突出；就等离子体放电技术而言，如辉光放电、电晕放电、介质阻挡放电、射频低温等离子体放电、射流低温等离子体放电等，应用于不同领域，取得了长足的进步，其中最为热门的属于低温等离子医学方面的研究[1-3]和工业等离子体技术等[4-6]。

在这些应用中，同轴型电晕放电因其结构简单且容易加工等特点，应用广泛。它利用电极间电场极其不均匀的特征，直接在大气压下产生等离子体射流[7],广泛应用在杀菌消毒[8-9]、材料处理[10-11]、静电除尘等方面[12-13]。利用同轴圆筒结构中非平衡条件下，电晕放电产生的等离子体从筒口喷出，向外界环境做定向运动，形成等离子射流[14]。这种结构在很大程度上克服了平行板型耦合放电装置在表面处理的局限性[15-16]，使其应用更加广泛。

随着大量科研团队在等离子射流技术领域的研究和探索，越来越多的理论与微观现象被深入挖掘。这些研究中，国内外大多数科研学者利用稀有气体(如氦气)作为等离子产生的气体[17-18]，进而研究放电的机理；而对于利用空气放……