董 猛，成永军，孙雯君，郭美如，李晓旭，肖 梅，吴成耀，刘 畅

(1.兰州空间技术物理研究所，真空技术与物理重点实验室，甘肃 兰州 730000；2.苏州大学机械与电子工程学院，江苏 苏州 215021；3.东南大学电子科学与工程学院，江苏 南京 210096)

科学仪器设备是科学研究和技术发展的基石，是经济发展、国防安全的重要保障。质谱计作为高端科学仪器之一，广泛应用于航天科技、生命科学、半导体工业、环境监测、医疗卫生、国防军事等领域[1-2]，其可用于阐明物质分子结构[3-4]。根据质谱计质量分析器离子分离的基本原理，目前常用的有四极质谱计、离子阱质谱计、飞行时间质谱计和磁偏转质谱计[5-8]。磁偏转质谱计作为一种最传统的质谱分析仪器，自1918年发明以来，因其具有结构简单、质谱峰形好、质量歧视小、易于定量分析等优点[3，9-12]，在空间探测、真空检漏等领域发挥着重要作用[13-15]。

在航天空间探测领域，美国宇航局在阿波罗15号、16号和17号上搭载了小型磁质谱仪开展月球探测活动；在先驱者号金星探测器、凤凰号火星探测器上也搭载了小型磁质谱仪探测星球表面和土壤中的气体组分及含量[13,16-18]。欧空局在罗塞塔号彗星探测器上搭载了双聚焦磁偏转质谱计，精确分析了彗星表面大气的基本物质、同位素、气体组分及其含量[19-21]。兰州空间技术物理研究所于2012年研制了小型磁偏转质谱计，并搭载于新技术验证卫星对499 km太阳同步轨道上的空间气体组分进行测量[22]。另外，真空检漏技术在锂电池、电子元器件、低温制冷、航空航天、核工业、半导体等行业应用广泛，目前国内外研制的氦质谱检漏仪中的核心部件是磁偏转质谱计。……