张骞 任青

摘 要：高精度集成电路厂房对环境振动有极高的要求，需要控制建筑的振动水平。本文采用高灵敏度压电式加速度传感器，对四川某电子科技厂房进行24h振动监测，测试其振动水平，通过测试所得时程数据，对其采用的1/3倍频分析法，分析其该厂房各点的振动响应特性。

关键词：集成电路厂房;振动响应;1/3倍频

中图分类号：TP212.9            文献标识码：A            文章编号：1006—7973（2021）01-0157-02

随着现代各种精密仪器工业的蓬勃发展，各种类型的光刻机以及芯片制造机产业都迎来了高速的发展时期，但是精密仪器的工作及运转需要更高的振动要求，因此如何将环境振动控制在仪器可控范围之内成为十分重要的问题。微振控制不仅影响到机器设备、仪表器械的使用寿命和使用性能以及操作人员的正常工作，还影响到搭载平台的生命力。

本文结合四川某芯片厂房的现场振动测试，分析其动力特性，为其防微振设计提供依据。

1工程概况

四川某芯片厂位于丘陵山坡、斜坡及坡间沟谷区域，为坡洪积地貌，后经人工堆填形成现有场地，地形平坦，整个观测区域的地层为第四系覆盖层。工房的周边均为丘陵地貌，南北有铁路，东面有在建公路。工房内有80%以上区域属于防微振区域（如图1）。

从现场周边环境观察得到的产生主要振动的源头有如下三种原因：首先是由于现场周围近5km由从西往东的高铁铁路带来的振动源头;其二，则是在现场位置的东侧方向有新建的高速公路，途径的车辆，卡车行驶引发的振动;其三，是由于现场靠近机场，在飞机起降过程中会导致振动。……