李大明，彭照明，杨鹏飞，张怀文

1 北京大学深圳医院 放疗科，深圳市，518036

2 江西省肿瘤医院 放疗中心，南昌市，330029

0 引言

真空系统对高能粒子产生非常重要。许多带电粒子，如电子、质子以及其他重离子加速到高能状态，基本上都是真空环境中完成的[1-2]，医科达直线加速器也不例外。

医科达直线加速器真空系统是由两个溅射式离子泵24 h不间断工作来维持10-6～10-7mbar(1 mbar=100 Pa)左右气压的真空环境，气压高于10-5mbar时则会触发机器联锁。机器代码Item 227 Vac Gun和Item 228 Vac Tar的值反映加速器的枪端和靶端真空状态，进而用于评估整个设备的真空水平。如真空：2*10-6(mbar)=10-5.7，lg 10-5.7=-5.7，显示结果表示是-5.7。在监测回路中存在比较器，当监测真空低于10-5mbar或者10-4mbar时会提示出10-5/10-4trp T/G错误，并中断出束。

医科达直线加速器真空系统分真空腔体部分和离子泵供能及监测部分[3]。真空腔体包含一个主支和两个分支。主支沿着电子运动方向设计，从电子枪灯丝发射电子开始，再经过微波加速管，波纹管以及飞行管（电子窗和靶）输出射线。一个分支连接相关阀门以及溅射式离子泵，维持系统真空。另外一个分支连接波导窗，引入加速所用的微波，为电子加速提供能源，或处理剩余微波。电源和监测部分为离子泵提供能量以及监测系统真空值。各部件通过密封圈和法兰及接头连接，达到隔离外部环境目的。

1 真空系统常坏部件故障判断方法及解决方案

医科达直线加速器真空系统常见故障涉及到诸多部件，不同的部件问题出现的现象会有所差异。……