袁巨龙，韩文杰,，杜东兴，黄文，吕迅

（1.浙江工业大学 超精密加工研究中心，杭州 310023； 2.中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所，四川 绵阳 621999）

HR-2 抗氢不锈钢（下称工件）具有耐氢、氮、氨腐蚀性质和良好的抗氢脆性能，在能源工业及相关领域中得到广泛应用[1]。在大科学装置实验室的试验中，HR-2 抗氢不锈钢等材料制成的样品表面完整性要求接近理想状态，不仅需要极高的平面精度，还需要良好的形状精度稳定性。然而机械加工后表面存在过大残余应力，将导致样品形状精度随时间发生微变形，影响物理实验的一致性和准确性[2]。为确保工件的面形精度，需要对加工残余应力的产生规律和机制进行探究，目前国内外对机械加工残余应力研究多集中在磨削和车削等工序，如P. N. MOULIK 等[3-4]研究了磨削中热应力、机械应力以及材料相变应力三者耦合作用的影响，阐述了磨削力等因素对材料表面磨削残余应力形成规律的影响。胡忠辉等学者[5-7]对磨削残余应力的机理进行了研究，解释了磨削过程中残余应力主要产生的原因。胡自化等学者[8-9]研究了刀具对工件表面残余应力的影响。

尽管上述对机械加工残余应力的研究已经相当深入，但以上加工手段多用于粗/半精加工，随着精密器械表面精度的要求越来越高，对精密加工方式（如研磨）的残余应力研究也将深入[10]。研磨与磨削等机械加工方式相比都是机械方式去除表面的过程，但一般来说研磨去除量小得多，且几乎不产生热效应，因而表面残余应力的产生和表现会有相当大的差异性。……