祁鹏浩，仝哲，刘奇，李月，董光能

（1.西安交通大学 现代设计及转子轴承系统教育部重点实验室，西安 710049； 2.中国工程物理研究院 机械制造工艺研究所，四川 绵阳 621900）

全氟聚醚润滑脂作为一种具有良好的耐高低温、抗氧化、抗辐射、化学惰性等性能的润滑脂，广泛应用于航天飞行器的机械部件润滑，在化工、3D 打印、食品加工等行业的设备和精密仪器中也有着较为普遍的应用[1-2]。但是，全氟聚醚基润滑脂的主要成分为含氟物质，材料的分子稳定性高，材料表面能低，因此与金属之间的粘附性差，容易被挤压出摩擦区域，尤其在泵等具有往复运动的部件中作润滑剂时，润滑性能不稳定的状况时有发生。

表面织构化作为一种改善机械零件、微/纳零件摩擦学性能的有效手段，可改善材料的表面形貌，这将直接影响界面的粘着和摩擦行为[3]。在摩擦副表面进行织构化设计（如凸起、凹坑或沟槽）可以作为储油槽、储屑槽，同时还有利于摩擦表面产生微动压润滑，提高承载力并减小摩擦力矩[4]。类金刚石（Diamond-Like Carbon，简称DLC）涂层具有高硬度、低摩擦系数、化学惰性[5]以及高电阻率等优点，而成为薄膜领域研究的热点。研究表明，DLC 膜的摩擦学行为强烈地依赖于膜层的成分和结构，通过DLC 薄膜表面的特殊形貌，可以消除在边界润滑条件下的疲劳磨损[3]，同时可以将对应部件的磨损保持在非常低的水平。因此，研究利用DLC 薄膜的自润滑特性以及表面织构的储油特性，可极大地优化机械支承部件之间的摩擦磨损状况[6-9]。……