刘尚，宇博b，敬海峰b，赵真真a，刘红艳b，姚立德，张伟,3

（1.吉林大学 a.材料科学与工程学院 b.电子显微镜中心，长春 130012；2.阿尔托大学 理学院应用物理系纳米电镜中心，芬兰 埃斯波 00076；3.华中科技大学 武汉光电国家研究中心，武汉 430074）

电化学能源存储与转换体系包括：超级电容器[1-3]、锂离子电池[4-7]、锂硫电池[8-10]、双离子电池[11,12]和各类电化学能源转换电催化剂[13-17]等。然而，相关材料的物理化学性质、性能测试条件、制备方法和技术不同，导致材料理论的电化学性能与实际应用相比有很大差别，根本原因在于材料的内部显微结构复杂且差异较大。因此，对制备的电化学材料进行准确的表面解析和评价十分重要，合适的表面解析方法对材料的形貌分析，成分鉴定，物相甄别有重要作用，也为优化制备材料过程、分析机理提供理论基础。

通过电子束轰击样品，产生多种信号，利用组建的不同分析仪器对这些信号进行收集，得到多角度的信息[18]。如：利用二次电子信号成像的扫描电子显微镜可观察到样品表面微观形貌特征；利用透射电子信号成像的透射电子显微镜可获取样品的形貌以及晶体结构；利用特征X 射线信号形成谱图的X 射线能谱仪可分析样品的化学成分以及元素分布；通过非弹性散射电子信号的电子能量损失谱可得到样品的元素组成以及电子结构。电子显微相关的表征方法、信号选择及信息获取如图1 所示。

图1 电子显微表征方法、信号选择以及信息获……