张淑芳，秦 云

（中国航发贵州黎阳航空动力有限公司运行保障部，贵州贵阳 550016）

0 引言

新机床到厂安装后，因运输过程中的颠簸及环境温度差异等原因，会造成机床位置精度变化，产生新的定位误差。因此新机床经安装调试后须使用激光干涉仪对其位置精度进行检测评定，必要时进行螺距误差补偿，以修正误差值，达到机床验收标准，保证机床加工精度要求。

1 激光干涉仪的组成及基本原理

Renishaw XL-80 激光干涉仪所用激光的波长为633 nm，且其长期波长稳定性（在真空中）高于0.05 ppm，是可对数控设备（加工中心、三座标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的仪器。

Renishaw XL-80 激光干涉仪基本系统包括：XL80 激光头（带三角架）及相应的光学器件。其中用于线性测量的组件包括一只分光镜、两只反光镜和两只用于光学准直的光靶，线性测量工作原理如图1 所示。激光头发出激光束1 经分光镜分成两束光，激光束2 经固定反光镜反射，形成参考光束，激光束3 经移动反光镜反射，形成测量光束，两束光汇聚于分光镜中相叠加彼此干涉，相位相反时形成相消干涉，产生暗条纹；相位相同时形成相长干涉，产生明条纹。如果测量光路长度改变，干涉光束的相对相位将改变，反光镜每移动316.4 nm 就会出现一个明—暗—明的光强变化循环，激光干涉仪通过接收到明暗条纹变化，经过电子细分，从而知道距离的细微和准确的变化，以此来测量移动距离。……