张亚飞

(上海市计量测试技术研究院，上海 200233)

在气体检测分析仪器中，常需要用到配气仪来获取不同浓度的标准气体来对仪器进行标定等[1-4]，目前，随着工业检测领域对气体浓度检测准确度的要求越来越严，对标准气体的浓度要求也随之提高[5-9]。市面上最常用的获取不同浓度标准气体的方法就是利用质量流量混合法，即通过利用一个稀释气流量控制器和一个或以上的原料气流量控制器来对原料气进行比例稀释，以获得目标浓度[10-13]。因此，决定标准气体浓度的质量流量控制器精度成为当前优先考虑的问题，同时也对高效率实现标准浓度的配比提出了更高的期待。

通过对市场主流配气仪结构的分析，都具有大同小异的结构设计。比如，申请号为201110393886.7的发明专利申请公开了一种标准气配气仪，其设计存在如下几点不足：1，采用了制冷片、加热片和/或加热棒、采温器件等控温材料，以及保温材料等，使得整机的结构复杂，故障点多且不易维护；2.当配气仪外部输出管路和保温层内输出管路有较大温差时，会对目标气的配比浓度的精度产生一定影响。而申请号为201210277728.X的发明专利申请公开了一种数据校准方法及装置，其只是对单个流量控制器的流量控制精度进行了校准，并未考虑稀释气和原料气流量控制器间的精度差异。另外，从现有公开技术来看，均未考虑原料气流量控制器在长期接触较高浓度的酸性气体时所出现的一定程度上的腐蚀情况。……