黄港

【摘 要】等离子体是物质存在的又一种基本形态，产生等离子体的方式也多种多样。螺旋波等离子体源作为一种高密度源，该等离子体源中螺旋波由射频天线激励并沿轴向磁场方向在有限直径的圆柱形等离子体柱中传播，具有哨声波和横波模式结构，由于其电离效率高、磁场约束低、操作简单等优点，在材料领域都有着非常广阔的应用前景。本文主要介绍了螺旋波等离子体基本特征，包括色散关系以及天线特征。在材料应用方面，针对国内外螺旋波等离子体薄膜沉积和刻蚀技术的研究进行了基本综述。

【关键词】螺旋波;高密度等离子体;等离子体-材料相互作用;应用

1.前言

人们现在知晓的三种物质状态（固、液、气）在一定状况下是可以相互转换的，固体加热到了一定温度会变为液体，液体加热到了一定温度会变为气体，如果对气体采取某种加热手段，使气体分子离解和电离[1]，这时物质会变成带正电的原子核和带负电的电子组成的一团均匀的流体，它的正负电荷总量相等，因此它是近似电中性的，所以就叫等离子体。

现阶段有许多产生等离子体的方式，螺旋波等离子体源因为其电离效率高、磁场约束低等优势已经开始广受人们关注。因此，这种优势的高密度源有多种应用，如在材料领域中应用其进行薄膜沉积和刻蚀，在航空航天领域的等离子体推力器等。目前所有的螺旋波等离子体材料处理设备中，处理腔室都被设计在源区的下游。……