（中国航空制造技术研究院高能束流加工技术重点实验室，北京 100024）

近年来材料制备技术迅速发展，涌现出一大批如非晶态合金[1]、高熵合金[2]、复合材料[3]等性能优异的超材料。非晶合金因硬度大、强度高、耐腐蚀、低磁性等特点，具有很好的应用潜质，但它脆性大且受热易晶化，常规加工方式很难加工。激光加工具有无接触应力且不受材料硬度限制的优势，其中以超快激光和紫外激光这两类的热效应最小，非常适合加工脆硬性大、难加工材料[4–5]。与超快激光相比，紫外纳秒激光结构简单、购置及维护成本低、对工作环境要求低，成为其显著优势。开展紫外纳秒激光打孔等应用研究，分析紫外激光加工非晶合金的可行性，对非晶合金等难加工材料加工方式的扩展和补充具有积极意义。

本文以Zr–Cu 非晶合金为研究对象，使用波长355nm 的紫外纳秒激光，对非晶合金进行旋切打孔，研究了不同气氛下盲孔的加工质量和效率。然后通过XRD 衍射分析了非晶材料稳定性，同时在现有紫外纳秒加工机理的研究基础上，给出了紫外激光加工非晶合金时材料性能保持稳定的原因。

试验方法

材料为1.2mm 厚的Zr–Cu 非晶合金，表面抛光处理，见图1。试验采用波长355nm、平均功率2.4W，激光脉宽240ns、输出频率50kHz 的紫外纳秒激光光源。电脑控制激光的输出，并且通过振镜控制激光的扫描路径。

不同于定点复制法的孔径和加工质量受制于光斑大小和光斑质量，旋切法加工的孔径可控，孔形优异[6]。……