冯博

摘  要：本文分析了双面研磨机下定盘平面度不良的几种原因，并从零件设计、加工方式、组装、工艺等几方面分析了现有结构及现象的设计与实际缺陷，并用SolidWorks软件对下定盘安装座结构进行了设计优化以及对工艺修磨进行了研究。

关键词：双面研磨机;下定盘;平面度不良;原因分析;设计改进;工艺修磨

1、引言

平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域【1】。平面度误差是形位误差项目之一，也是限制实际被测面相对理想平面变动量的一项重要指标。其测量与评定对有平面度公差要求的零件合格性的判定和对提高零件的加工精度都有着重要意义。双面研磨机主要用于硅片、石英晶体、玻璃、陶瓷、蓝宝石、砷化镓、铌酸锂等零件的精研双面加工，也适用于阀板、阀片、光导纤维、计算机储存盘及其他片状金属、非金属零件的精研双面加工【2】。此文所述的双面研磨机主要用于高精密平坦化研磨领域，可满足半导体芯片制造、高精密陶瓷零部件、精密光學零部件、高平坦度薄金属件等的生产加工需要。

伴随着目前产品高精度化的趋势，市场对于高精度研磨的需求也逐渐增加。能够高效高精度研磨各种材料、而不仅限于半导体研磨的双面研磨机今后将可以在各种领域得以应用。在设备的整机精度中，下定盘作为结构上的重要组成部件，其平面度尤为重要，直接影响加工产品的精度。……