论电子工业中酸碱废气的处理方法
2019-10-21黄永兵
科学导报·科学工程与电力 2019年27期
关键词:处理



【摘 要】本文通过对电子工业中酸碱废气去除的机理进行分析,从而针对污染源进行有效去除,提出解决设计方案,优化酸碱废气治理环节,以达到对环境的有效保护,减少有毒废气排入大气,造成对环境的二次污染。
【关键词】电子工业;酸碱废气;处理
1、引言
随着新智能制造时代的到来,新型生产工艺背景下新材料的诞生与运用,高速发展的时代背景下。电子工业中的面板、芯片成为新时代发展的应用基板,而随着电子工业以迅雷不及掩耳之势的态势发展,电子工业中的工艺废气治理也成为当下我们关注的话题。在经济发展与环境治理中,我们要科学健康发展,故我们在新型工业中,发展科技与保护环境变得互为重要,在满足科技发展的前提下,提升环境治理格局,优化环境治理措施变得尤为重要。
2、电子工业废气中酸碱废气的去除机理
2.1碱性排气系统中气体的去除机理
由于碱性(剥离液)排气系统中主要含有NH3、KOH、TMAH等碱性物质,需要添加酸性中和液来去除,则洗涤塔选择添加H2SO4(50%)溶液。
化学方程式:OH-+H+=H2O。
2.2酸性排气系统中气体的去除机理
酸性含有NOx、HCl、Cl2、H2SO4、H3PO4、HF、CH3COOH、HNO3等酸性气体,需要采用单级卧式洗涤塔来去除。添加还原剂和碱液去除,添加NaOH(30%)溶液和NaHS(20%)溶液。
化学方程式:8 NO2 + 2 NaHS + 8 NaOH → 8 NaNO2 + Na2S2O3 + 5 H2O
其它酸性气体化学方程式:OH-+H+→ H2O。
3、电子工业废气中酸碱废气的主要成分与浓度
3.1酸性废气的组成成分
3.2碱性废气的组成成分
4、电子工业废气中酸废气处理方法
4.1酸废气处理用洗涤塔理论计算书设……
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