【摘  要】本文通过对电子工业中酸碱废气去除的机理进行分析，从而针对污染源进行有效去除，提出解决设计方案，优化酸碱废气治理环节，以达到对环境的有效保护，减少有毒废气排入大气，造成对环境的二次污染。

【关键词】电子工业;酸碱废气;处理

1、引言

随着新智能制造时代的到来，新型生产工艺背景下新材料的诞生与运用，高速发展的时代背景下。电子工业中的面板、芯片成为新时代发展的应用基板，而随着电子工业以迅雷不及掩耳之势的态势发展，电子工业中的工艺废气治理也成为当下我们关注的话题。在经济发展与环境治理中，我们要科学健康发展，故我们在新型工业中，发展科技与保护环境变得互为重要，在满足科技发展的前提下，提升环境治理格局，优化环境治理措施变得尤为重要。

2、电子工业废气中酸碱废气的去除机理

2.1碱性排气系统中气体的去除机理

由于碱性（剥离液）排气系统中主要含有NH3、KOH、TMAH等碱性物质，需要添加酸性中和液来去除，则洗涤塔选择添加H2SO4（50%）溶液。

化学方程式：OH-+H+=H2O。

2.2酸性排气系统中气体的去除机理

酸性含有NOx、HCl、Cl2、H2SO4、H3PO4、HF、CH3COOH、HNO3等酸性气体，需要采用单级卧式洗涤塔来去除。添加还原剂和碱液去除，添加NaOH（30%）溶液和NaHS（20%）溶液。

化学方程式：8 NO2 + 2 NaHS + 8 NaOH → 8 NaNO2 + Na2S2O3 + 5 H2O

其它酸性气体化学方程式：OH-+H+→ H2O。

3、电子工业废气中酸碱废气的主要成分与浓度

3.1酸性废气的组成成分

3.2碱性废气的组成成分

4、电子工业废气中酸废气处理方法

4.1酸废气处理用洗涤塔理论计算书设计条件

4.2酸废气处理用洗涤塔去除效率计算

4.3酸废气处理用洗涤塔压力损失计算

4.4酸废气处理反应机理及化学品用量

4.4.1二氧化氮的反应机理及化学品用量

5.5碱废气处理中氨气吸收装置循环水量计算书

已知洗涤塔喷洒面积A= 1.389 m2

液体流率=20 M3/HR.M2

则流量L= 20 M3/HR.M2 ?1.389 m2 ? 60 Min./HR = 463L/Min.

在以上酸碱废气的处理中，我们以酸排气风量75000m?/hr和减排氨气吸收装置计算数据为例，诠释了在电子工业废气中酸碱废气的典型处理方式，让我们在设计中有所参考计算依据。

结束语

电子工业酸碱废气的处理方案，国内外均有所不同点，但总的吸收机理不变，设计核算方式不变，唯不同在于设备整体的布置，材料選型有异。以上核算数据类型适用性较广，但需要根据具体案例特殊要求进行细化处理，完善功能特性，防止次生危害源的产生，尤其注意硫氢化钠在酸性条件下的分解。

参考文献：

[1] 方大，《实用水泵、风机和起重机速查速算手册》，化学工业出版社，2013-01

作者简介：

黄永兵，男，1990年12月，汉，内蒙古呼和浩特市，上海盛剑环境系统科技股份有限公司，本科毕业，中级环保工程师，研究方向：电子工业中废气的处理。

（作者单位：上海盛剑环境系统科技股份有限公司）