黄帅 王海欧 苏昆朋 葛景园 霍德璇

【摘要】本文首先介绍了薄膜材料的课程介绍，然后通过对教学过程的总结，提出了教学过程中的突出问题。在此基础上，针对每个问题，提出了相应的改革方案。根据改革方案，在授课过程中做了初步探索，以使学生能够更好地熟悉薄膜材料的制备工艺及原理。

【关键词】薄膜材料 真空技术 科学前沿

【基金项目】国家自然科学基金项目（11704091）；杭州电子科技大学2017年高等教育研究资助项目（YB201701）。

【中图分类号】G64 【文献标识码】A 【文章编号】2095-3089（2018）04-0255-02

一、引言

薄膜材料在集成电路、信息材料、光学元器件等领域应用广泛，其制备工艺受到人们的关注。在科学研究中，薄膜材料的制备工艺在探索新材料、制作新器件等方面也提供了技术支持。因此，我院对材料科学与工程专业学生开设了薄膜与真空技术课程，可为学生后续的研究及工作打下基础。薄膜材料的制备工艺分为物理和化学制备工艺。其中，物理制备工艺可细分为真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、分子束外延镀膜；化学制备工艺可细分为化学气相沉积和化学溶液法，这些制备工艺涉及多种薄膜制备的原理及设备。在本科阶段，学生主要以理论学习为主，在学习这门课时难以对各种薄膜的制备工艺有较深入的认识，对于抽象概念，也较难理解。

二、当前课程现状

教学过程中，通過观察学生对讲授内容的反应，结合科学研究进展，发现课程教学中存在以下问题：

1.学习内容的展现形式单一