胡 莹， 陈 圣， 张澜庭

(1. 上海交通大学 材料科学与工程学院，上海 200240；2. 宝山钢铁集团中央研究院，上海 201900)



聚焦离子束外置取出法制备SiCp/Al透射电镜样品

胡 莹1, 2， 陈 圣2， 张澜庭1

(1. 上海交通大学 材料科学与工程学院，上海 200240；2. 宝山钢铁集团中央研究院，上海 201900)

SiC颗粒增强铝合金复合材料(SiCp/Al)由于结构复杂，在结构分析工作中既需要定点取样，又需要尽可能大的观察区域以满足对各结构单元之间相互作用的研究，故透射电子显微镜(TEM)样品制备工作存在较大的困难。采用聚焦离子束(FIB)外置取出方法制备TEM样品，在真空室内切割出较大面积的薄片样品，并将其在真空室外取出，置于覆膜铜网上。由于一片覆膜铜网上可以承载多片样品，这样一次进样可以对多个区域进行观察。实验结果证实样品可观察区域足够，样品质量满足TEM要求，观察效率高，同时由于这种方法高效低成本的特点，在相近材料和一些实验量庞大的材料结构解析工作中具有可推广性。

聚焦离子束； 外置取出； SiCp/Al

0 引 言

SiC颗粒增强铝基(SiCp/Al)复合材料是由陶瓷性增强相SiC颗粒和轻质Al合金通过一定的工艺共同构成的一种复合材料[1]，像许多其他复合材料一样，界面是研究工作中重要的一个方面[2-4]。

鉴于界面两侧的组织细密，透射电子显微镜(TEM)在复合材料的研究中扮演着重要角色[5-6]。但是，由于SiCp/Al复合材料两相之间的物理、化学性能差异很大，在样品制备的过程中存在相当的困难。同时，前期工作已知材料中可能形成多种析出相和反应产物，复合材料整体信息以及各结构单元之间的关系也是研究工作中不能忽略的部分。……